X射线光电子能谱（XPS光谱） 也称为化学分析电子能谱 (ESCA). X射线光电子能谱 用于确定定量的原子组成和化学。 这是一个 表面分析 采样体积从表面延伸到大约 50-100 Å 的深度的技术。 XPS 光谱也可用于溅射深度分析。 这对于通过将矩阵级元素量化为深度的函数来表征薄膜很有用。

XPS光谱学是一种元素分析技术。 这在提供被检测元素的化学状态信息方面也很独特。 很好的用途是区分硫酸的硫酸盐形式和硫化物形式。 该过程通过向样品照射 单色X射线。 这导致光电子的发射，其能量是采样空间内元素的特征。

智能图表

XPS光谱仪是我们的一部分 智能图表系列. XPS 光谱可以检测和量化除 H 和 He 之外的所有元素，并提供化学状态信息，使其成为一种强大的调查分析技术。

X 射线穿透样品几微米深并迫使电子离开样品。 因此，只有顶部 100 埃的电子才有足够的能量到达 XPS 探测器。

首先，XPS 光谱学通常从以最高灵敏度查看全能量范围扫描的调查开始。 因此，我们可以识别和量化表面元素。 其次，我们通常使用高分辨率 XPS 分析来确定键合状态，其中我们以更高的能量分辨率使用窄扫描。 这可以从峰位置和峰形确定化学键合状态。 最后，为了确定薄膜成分，深度剖面分析很有用，因为它可以查看原子成分。

EAG 在各种应用中使用 X 射线光电子能谱来帮助各行各业的客户。 例如，通过研发、工艺开发/改进和 故障分析.

XPS光谱例子

XPS分析的示例包括：

• 识别污渍和变色
• 表征清洁过程
• 分析粉末和碎片的成分
• 确定污染源
• 在处理之前和之后检查聚合物功能以识别和量化表面变化
• 获得基质水平成分和污染物的薄膜叠层（导电和非导电）的深度剖面（低至％％水平）
• 评估样品之间氧化物厚度的差异
• 测量硬盘上的润滑剂厚度

理想用途

• 首先，对有机和无机材料、污渍或残留物进行表面分析
• 其次，从表面确定成分和化学状态信息
• 三、薄膜成分的深度剖析
• 此外，薄膜氧化物厚度测量（SiO2，Al2O3)

强项优势

• 表面上的化学状态识别
• 识别除H和He之外的所有元素
• 定量分析，包括样品之间的化学状态差异
• 适用于多种材料，包括绝缘样品（包括纸、塑料和玻璃）
• 基质水平浓度的深度剖析
• 氧化物厚度测量

缺点局限

• 首先，检测限通常约为 0.1 at%
• 其次，最小分析面积〜10 µm
• 此外，有限的特定有机信息
• 最后，样本与特高压环境的兼容性

技术规格

• 检测到的信号：来自近表面原子的光电子
• 检测到的元素：Li-U化学键信息
• 检测限：0.1–1 at% 亚单层
• 深度分辨率：20–200 Å（剖面模式）； 10–100 Å（表面分析）
• 成像/映射：是
• 横向分辨率/探针尺寸：10 µm – 2 mm

最重要的是，XPS光谱学对样品化学成分的洞察力使您能够 更快地进行产品和流程改进，使您能够缩短周期时间并节省资金。

此外，通过 EAG，您还可以使用最好的设施、仪器和科学家进行 XPS 光谱分析。 我们处理来自多个行业的许多不同材料，这为我们提供了非常广泛的经验。 最后，我们的一对一服务可确保您收到所有问题的答案。

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