原子力显微镜(AFM)分析提供近原子分辨率的图像,用于测量表面形貌。 AFM也称为 扫描探针显微镜。 它能够量化低至埃级的样品的表面粗糙度。 除了显示表面图像之外,AFM分析还可以提供特征尺寸(例如台阶高度和其他尺寸)的定量测量。 此外,原子力显微镜测量的高级模式还可以对各种其他物理特性(如附着力,模量,掺杂剂分布,电导率,表面电势,电场和磁畴)进行定性映射。
此外,原子力显微镜是该装置成像部分的一部分 智能图表
理想用途
- 评估晶圆上的晶圆或薄膜(例如SiO2,GaAs,SiGe等)加工前后
- 调查处理效果(例如等离子体处理) 生物医学设备 例如隐形眼镜,导管和涂层支架
- 检查表面粗糙度对粘附力的影响
- 评估加工/图案化晶圆上的沟槽形状/清洁度
- 确定形态是否是表面雾霾的来源
- 映射激活载波的分布
- 表征薄导电膜的均匀性
- 测量图案化晶圆上的畴之间的台阶高度
- 三维表面形貌成像,包括表面粗糙度,晶粒尺寸,台阶高度和间距
- 成像其他样品特性,包括磁场,电容和摩擦
- 相成像可以研究表面的物理特性,例如模量和附着力
优势强项
- 首先,量化表面粗糙度
- 其次,可以完整分析300 mm以下的晶片
- 第三,高空间分辨率
- 最后,对导电和绝缘样品进行成像
缺点限制
- 扫描范围限制:z方向横向(xy)90 µm,z方向垂直5 µm
- 极端粗糙或形状奇特的样品存在潜在问题
- 尖端引起的错误是可能的
- 许多电和磁模式仅限于定性或半定量测量
技术规格
- 检测到信号:地形
- 垂直分辨率:0.1Å
- 成像/映射:是
- 横向分辨率/探针尺寸:2-150纳米
- 进阶分析模式:
- SCM:扫描电容显微镜
- C-AFM:导电原子力显微镜
- TUNA:隧道AFM
- KPFM:开尔文探针力显微镜
- SSRM:扫描扩展电阻显微镜
- EFM:静电力显微镜
- MFM:磁力显微镜
- PFQNM:峰值力定量纳米机械显微镜
总之,康派斯实验室可以提供AFM服务,以解决您的材料相关问题。
您也可以致电4009-621-929与我们联系或填写下方表格,让专家工程师和您讨论具体的需求。