二次离子质谱（SIMS）可检测极低浓度的掺杂剂和杂质。 该技术提供了从几埃 (Å) 到几十微米 (µm) 的广泛深度范围内的元素深度剖面。 样品表面用一束初级离子（通常是 O2+ 或者Cs+) 而在溅射过程中形成的二次离子使用质谱仪（四极杆、扇形磁场或飞行时间）进行提取和分析。 次级离子的浓度范围可以从基质水平到亚 ppm 痕量水平。

石油二站是SIMS分析的行业标准， 提供最佳检测限，以及准确的浓度和层结构识别。 石油二站在 SIMS 领域的经验和承诺的深度和范围是无与伦比的。 石油二站拥有全球范围最广的二次离子质谱仪（超过 40 种），由非常合格的科学家组成。 石油二站还拥有世界上最大的离子注入和体掺杂标准参考材料库，用于准确的 SIMS 量化。

理想用途

• 掺杂和杂质深度剖析
• 薄膜（金属，电介质，SiGe，III-V和II-VI材料）的成分和杂质测量
• 浅层植入物和超薄薄膜的超高深度分辨率分析
• 批量分析，包括 Si 中的 B、C、O 和 N
• 高精度匹配工艺工具，例如离子注入机或外延反应器

优势强项

• 以ppm或更低的检测灵敏度出色地检测掺杂剂和杂质
• 深度剖面具有出色的检测限和深度分辨率
• 小面积分析（1-10 µm）
• 检测所有元素和同位素，包括H.
• 出色的动态范围（高达6数量级）
• 在一些应用中可能的化学计量/组成

缺点限制

• 有害
• 没有化​​学键合信息
• 样品必须是固体和真空兼容的

技术规格

• 检测到信号： 二次离子
• 检测到的元素： HU包括同位素
• 检测限： > 1E10至1E16原子/厘米3
• 深度分辨率： > 5Å
• 成像/制图： 有
• 横向分辨率/探头尺寸： ≥10μm（深度剖析）; 1μm（成像模式）

石油二站的 SIMS 科学家经过专门培训，擅长了解客户的分析需求并优化分析，以最有效地解决他们的顾虑和兴趣。 今天，SIMS 分析用于帮助各行各业的客户进行研发、质量控制、故障分析、故障排除和过程监控。 石油二站在整个过程中提供个性化服务，让您全面了解 SIMS 实验室测试结果。

SIMS教程：仪器

SIMS教程：理论

所选元素的SIMS检测限

• 钻石及相关材料
• 砷化镓
• 氮化镓
• 碲镉汞
• 磷化铟
• 硅和二氧化硅2
• SiC
• 氧化锌

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