粒子诱导的X射线发射(PIXE)

粒子诱导 X 射线发射 (PIXE) 是对样品由于高能离子轰击而发射的 X 射线的测量。 几种激发光束会产生具有目标元素能量特性的 X 射线。 光子激发(通过 X 射线)产生 X 射线荧光光谱。 扫描电子显微镜或电子微探针中的电子激发提供能量色散或波长色散 X 射线光谱(取决于 X 射线色散和检测方法)。 He 带电粒子束2+ 或者H.+ 导致 PIXE 光谱。 在所有三种情况下,激发束都会去除核心电子,当外壳电子改变状态以填充内壳空位时,会发射具有特定能量的 X 射线。 发射的 X 射线能量与激发过程无关,但具有所存在元素的特征。

该附件可用于重元素识别卢瑟福背散射光谱法(RBS)仪器。 由于质量相似,这些重元素在 RBS 后向散射能量上可能只有很小的差异,但它们在 PIXE 光谱中可能有明显的差异。 PIXE 作为一种分析技术有几个优点。 它是非破坏性的,并提供与其电子束对应物相似的信号电平,但它具有更好的信号背景比。 电子能谱的背景来自轫致辐射,它在很大程度上不存在,因为 He2+ 或者H.+ 离子,即使在PIXE能量下,也具有比电子低得多的速度。 与电子诱导光谱相比的另一个优点是,与RBS一样,PIXE与绝缘样品一起使用。

理想用途

  • 识别/定量仅靠RBS无法解决的重元素

优势强项

  • 快速,便捷,互补的RBS技术
  • 提供与其电子束诱导对应物相似的信号电平,但具有更好的信背景比

缺点限制

  • 大分析区域(~1-2 毫米)
  • 有用的信息仅限于约1μm的样品

技术规格

  • 检测到信号: 背散射的He原子
  • 检测到的元素: 铝-U
  • 检测限: 0.1-10 at%
  • 深度分辨率: 没有
  • 成像/制图: 没有
  • 横向分辨率/探头尺寸: ~1-2 毫米

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